MEMS光柵采用了硅微加工工藝技術(shù)，在外力作用下使光柵的某些特征參數(shù)發(fā)生改變，從而實(shí)時(shí)改變光柵的工作性能，基于其*的優(yōu)勢，MEMS光柵已經(jīng)用于光通信、高清顯示設(shè)備、光譜分析等領(lǐng)域。功率放大器ATA-4012具有較高的電壓輸出、高頻率響應(yīng)，大范圍驅(qū)動容性負(fù)載能力等優(yōu)點(diǎn)，可以滿足驅(qū)動MEMS光柵測試的需求。

靜電驅(qū)動的能量密度較小，當(dāng)結(jié)構(gòu)需要比較大的工作位移，就必須增大驅(qū)動電壓，驅(qū)動電壓甚至達(dá)到上百伏，當(dāng)結(jié)構(gòu)受靜電力作用，由于機(jī)械結(jié)構(gòu)*的慣性而產(chǎn)生彈性震蕩，增大系統(tǒng)延遲。實(shí)際工作時(shí)，光柵等效電容會隨光柵梁位移的改變而變化，導(dǎo)致驅(qū)動電路容性負(fù)載的變化。

MEMS光柵采用表面硅微加工工藝，通過加載驅(qū)動電壓，每一個(gè)光柵梁單元都可以在靜電力作用下通過引線連接實(shí)現(xiàn)編程控制，改變驅(qū)動電壓就可以控制光柵梁的運(yùn)動位移。ATA-4012功率放大器輸出電壓160Vpp（±80V），頻率響應(yīng)DC-1MHz范圍內(nèi)，功率160W，可驅(qū)動高壓功率型負(fù)載。

高壓功率放大器ATA4012產(chǎn)品的功能特點(diǎn)及優(yōu)勢：

大輸出電壓160Vp-p(±80V)

大輸出電流2Arms

帶寬（-3dB）DC~1MHz

壓擺率500V/μs

電壓增益數(shù)控可調(diào)

一鍵保存常用設(shè)置

可與主流的信號發(fā)生器配套使用

輸入為BNC接口，輸入電阻50Ω、5kΩ兩檔可選，*匹配高低內(nèi)阻信號源。

輸出為香蕉插座，大輸出電壓160Vp-p(±80V)，輸出電流2Arms。

電壓增益數(shù)控0~50倍可調(diào)，具體分為粗調(diào)（1step）和細(xì)調(diào)（0.1 step）兩種。結(jié)合液晶面板增益的顯示，能夠快速調(diào)整至需要的電壓值。

操作面板液晶顯示，設(shè)備狀態(tài)及參數(shù)動態(tài)顯示，交互界面一目了然，簡潔易懂。

高壓功率放大器ATA4012檢測口：1/100 Monitor：此端口電壓為輸出端口的1/100，監(jiān)測口為BNC接頭，可以直接連接到示波器進(jìn)行輸出電壓的實(shí)時(shí)監(jiān)測。

MEMS光柵測試是采用信號發(fā)生器對其動態(tài)性能進(jìn)行測試，陶瓷電容代替光柵作為負(fù)載，MEMS光柵具有多種驅(qū)動方式，而靜電驅(qū)動的MEMS光柵，由于其工藝易于實(shí)現(xiàn)、耗能低、頻率響應(yīng)高，因此是較常用的驅(qū)動方式